電感耦合等離子體質譜儀是一種廣泛應用于地球科學、環境科學、生命科學和材料科學等領域的分析儀器。它結合了電感耦合等離子體源（ICP）和高靈敏度的質譜檢測器，能夠同時測定多種元素的含量和同位素組成。具有許多優點，如高的檢測限、高的選擇性、準確性和可靠性。此外，它還可以同時測定多個元素和同位素，其檢測范圍從質量數1到300不等。因此，已成為許多應用領域關鍵的分析工具，例如研究地球元素分布、環境污染、生命科學和材料科學等。
工作原理是將待測樣品轉化為氣態離子，然后經過選擇性分離和檢測。首先，樣品通過噴霧裝置進入ICP源，其中包含高溫和穩定的等離子體，使樣品中的原子被激發和電離。接著，離子在通過四極桿或磁場篩選器進行分離和聚焦，最終到達質譜檢測器進行檢測。
1、電感耦合等離子體源：這是ICP-MS的核心部件，用于產生高溫等離子體。在這個等離子體中，樣品中的原子和分子被離子化，以便后續的分析。
2、質譜儀：ICP-MS中常用的質譜儀是四級桿質譜儀。在質譜儀中，離子根據其質荷比（m/z）比例被分離和檢測，從而確定其種類和濃度。
3、接口：接口連接ICP源和質譜儀，將離子從等離子體傳輸到質譜儀中進行分析。
4、離子透鏡：用于聚焦和傳輸離子束，以確保離子能夠進入質譜儀中進行分析。
5、檢測器：用于檢測和記錄質譜儀中分離出的離子，生成質譜圖譜。
6、數據系統：用于控制儀器操作、數據采集和分析，以及結果的展示和存儲。
以上是ICP-MS的基本結構組成部分，每個部分在儀器的正常運行中起著關鍵作用，確保儀器的準確性和穩定性。
